用作高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。采礦工業(yè)用作反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。高純SF6還因其化學惰性、無毒、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空航天、醫(yī)療（X光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪胎、新型滅火器）等。