產(chǎn)品規(guī)格
生產(chǎn)能力：200噸/年
包裝規(guī)格：DOT47L 46kg/ DOT470L 460kg
閥門型號：DISS716
工藝特點：連續(xù)低溫精餾
應(yīng)用范圍
六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù)，常見于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。
